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三次元プローブステーションシステム

【 販売終了製品 】

AGPS704-001

構成品一覧

三次元プローブステーションのシステム構成品は、自由な組み合わせによりユーザー仕様に合わせてカスタマイズが可能です。キーサイト・テクノロジー社製ネットワーク・アナライザと三次元プローブステーションをセットでご購入の場合は、特別セット価格でご提供いたします。また、構成品単体でのご購入も可能です。
各構成品の詳細な仕様に関しては詳細ページをご覧いただくか、弊社までお問合せください。

標準セット三次元プローブステーション
真空ペンと真空ポンプ
マイクロポジショナーとレールポジショナー
4端子法DC測定針(タングステンニードル)
マルチビューワー
画像モニターと画像計測ソフトウェア
ビデオキャプチャユニット
オプションネットワーク・アナライザ(キーサイト・テクノロジー社製)
高周波プローブ lZl Probe(カスケード・マイクロテック社製)
アクティブ差動プローブシステム用プローブ針とプローブアンプ
(キーサイト・テクノロジー社製)
防振台
ディジタルマルチメーター(キーサイト・テクノロジー社製)

測定例 (DC測定・高周波測定)

仕様

[上部マイクロスコープ]

カメラ1⁄3インチCCDカメラ38万画素
光学倍率0.8×~5.0×
焦点深度1.47mm~0.10mm
分解能16.64μm~5.23μm
レンズ偏光レンズ(金属などを観察する際の乱反射を軽減)
W.D.※175mm±1mm
カメラマウントCマウント
照明同軸落射照明
補助対物レンズ2.0×、 合計倍率:1.6×~10×、WD:24.5mm±2mm
移動量可動(粗動調整) X:±40mm※2 Y:±50mm※3 Z:±50mm※3
可動(微動調整) X:±6.5mm(目量10μm) Y:±50mm※3 Z:±50mm※3
固定ツマミ: X (1箇所)⁄Y (2箇所)⁄Z (2箇所)
※1 W.D.とはレンズ端面から被測定物までの距離です
※2 最小移動量:2.5mm
※3 ハンドル1回転の移動量 粗動:18mm、微動:2.3mm、最小読み取り:バーニア目盛り0.1mm

左右部マイクロスコープ

カメラ1⁄3インチCCDカメラ38万画素
光学倍率0.75×~4.5×
焦点深度2.5mm~0.09mm
分解能16μm~4μm
レンズテレセントリック系
W.D.95.25mm±3mm
カメラマウントCマウント
照明同軸落射照明
移動量可動(微動調整) X:±6.5mm(目量10μm)
固定ツマミ: X(1箇所)

ライトガイド

ライトガイド3分岐
光源ハロゲンランプ 12V 100W

プロービングステージ

移動量可動 (微動調整) X:±12.5mm(目量10μm) Y:±12.5mm
Z:±5mm(目量10μm)
固定ツマミ: X (1箇所)⁄ Y (1箇所)⁄ Z (1箇所)

θ方向回転台

移動量可動 (粗動調整) θ :360°※4
可動(微動調整) θ :±5°

測定試料最大寸法

サイズ80mm (幅)× 80mm (奥行き)× 50mm (高さ)
※4 最小読み取り:バーニア目盛り0.1°

ポジショナーテーブル

移動量可動 (微動調整) X :±12.5mm (目量10μm)
可動(粗微動調整) Y :±64mm※5 Z :0~70mm※6
固定ツマミ: X (1箇所) ⁄ Y (1箇所) ⁄ Z (1箇所)

本体寸法と重量

寸法600mm(幅)×400mm(奥行き)×681mm(高さ)
重量36kg

真空ペンと真空ポンプ

真空吸引ペンパッド径:φ6mm 吸引できる重さ:最大94g
真空ポンプ到達真空度:-33.3kPa{-250mmHg} 吐出空気量:5l⁄min
定格電圧:AC100V(50/60Hz) 消費電力:15⁄14W 電流:0.35⁄0.3A
定格時間:連続

ネットワーク・アナライザ キーサイト・テクノロジー社製

キーサイト・テクノロジー社製の全てのネットワーク・アナライザと組み合わせることができます。
ネットワーク・アナライザに関する詳しい情報は、以下のページをご参照ください。

ネットワーク・アナライザ詳細ページ
アジレント・テクノロジー社ロゴ ※株式会社エーイーティーはキーサイト・テクノロジー合同会社とソリューションパートナー契約を締結しています。

高周波プローブ lZlProbe  カスケード・マイクロテック社製

lZlProbeはカスケード・マイクロテック社の登録商標です。
株式会社エーイーティーは、カスケード・マイクロテック株式会社のビジネス―パートナーです。

高周波プローブの詳細ページへ >>

マイクロポジショナーとレールポジショナー

X-Y-Z軸の3方向からの位置決めにプラスして、前面のシーター軸が回転することにより高確度な位置決めを保証します。前後、左右および上下方向の位置決めは、X-Y-Z軸のマイクロメーターで微調節します。微妙なプローブ先端の平行調整には、シーター軸ステージを粗調整した後、シーター軸微動マイクロメーターにより±3°の角度で微調節することができます。4箇所からの絶妙な位置合わせにより、わずかなズレも許されない測定条件にもしっかりと対応できます。

マイクロポジショナー
マイクロポジショナー
マイクロポジショナー設計図
マイクロポジショナー設計図
レールポジショナー
レールポジショナー
レールポジショナー設置例
レールポジショナー設置例

レールポジショナーは、プローブをレールに沿って移動させるとプローブの向きを90度かえることができます。プローブ上部のθ調節ネジを回すと、プローブ針先をあおり角±3°の範囲で傾けることができるため、プローブ針先を基板面に平行に合わせることができます。プローブの向きを水平および垂直方向に簡単に移動できるので、基板やプローブの向きをかえる手間が省けます。プリント基板などの表裏測定に最適です。

画像モニターと画像計測ソフトウェア

  • 画像モニターを使用すると1台のモニタで最大4系統の映像を表示できます。通常のビデオ出力のほか、SXGA高精細出力またはネットワークを利用した遠隔観察機能が標準装備されています。
  • 画像計測ソフトウェアを使用すると簡単な操作で画像の取り込み、画像の比較、画像の計測、レポート作成ができます。
  • 画像計測 : 動画および静止画状態で計測が行えます。計測結果は画像にオーバ-レイされ、画像と一緒に保存することもできます。
  • 画像反転:動画状態で画像を上下、左右に反転できます。
  • 画像分割:モニター画面を上下、左右の2分割および4分割表示ができます。
  • ユーザ定義マーカー、可変ピッチスケール:マーカーと可変ピッチスケールは、動画、静止画上にオーバーレイできるので、限度範囲の確認や位置合わせに利用できます。
  • 特殊効果:画像間論理積/和、排他的論理和、画像間加算、その他多彩な効果を実行できます。
  • 画像の保存、読み込み:画像をJPEG、BMPで保存できます。保存した画像は表示ウインドウだけでなく分割画面でも読み込めるので画像比較が簡単に行えます

Application  グッと広がるプロービングバリエーション

 応 用 
  • ICパッケージ
  •  ⁄ 
  • ICソケット
  •  ⁄ 
  • インターコネクタ
  •  ⁄ 
  • コンタクトピン
  • 高周波モジュール
  •  ⁄ 
  • プリント配線基板
  •  ⁄ 
  • ICチップ

DC測定

平面プロービング
DC測定 平面プロービング
平面測定
差動伝送路基板
DC測定 差動伝送路基板
上面
垂直ピン(左)+水平ピン(右)
DC測定 垂直ピン(左)+水平ピン(右)
垂直ピン(左)+水平ピン(右)
多極コネクタ
DC測定 多極コネクタ
上面⁄左側面⁄右側面
垂直ピン(左)+垂直ピン(右)
DC測定 垂直ピン(左)+垂直ピン(右)
端子を両側から測定
ICソケット
DC測定 ICソケット
上面⁄左側面⁄右側面
表裏プロービング
DC測定 表裏プロービング
表面と裏面から測定
両面プリント基板
DC測定 両面プリント基板
上面⁄表面⁄裏面

高周波測定

平面プロービング
高周波測定 平面プロービング
平面測定
差動伝送路基板
高周波測定 差動伝送路基板
上面
垂直ピン(左)+垂直ピン(右)
高周波測定 垂直ピン(左)+垂直ピン(右)
ICソケットピンの測定
ICソケット
高周波測定 ICソケット
上面
表裏プロービング
高周波測定 表裏プロービング
基板パターンの表裏測定
両面プリント基板
高周波測定 両面プリント基板
表面⁄裏面
表裏プロービング
高周波測定 表裏プロービング
ピンの高周波特性を測定
コンタクトプローブ
高周波測定 コンタクトプローブ
上面⁄表面⁄裏面

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