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マイクロ波プラズマ

プラズマ源

シングルモ-ド型マイクロ波プラズマ源

DOWNSTREAM WR340

特長
  • WR340導波管を使用したシングルモ-ド型プラズマ源
  • プラズマ噴出口:Φ30-Φ60mm
  • 圧力範囲 1Pa~大気圧
仕様
型式DOWNSTREAM WR340
用途薄膜形成、ラジカル/反応種の生成
動作周波数2450MHz
入力電力範囲230W~6kW
圧力範囲1Pa~大気圧
使用ガスAr、N2、O2、air
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管/アルミナ管  Φ30mm、Φ42mm、Φ60mm
接栓WR340導波管

SURFAGUIDE PLASMA SOURCE

特長
  • WR340導波管を使用したシングルモ-ド型プラズマ源
  • プラズマ放電箇部の導波管を薄くすることにより、電界強度が上がりプラズマの着火が容易
  • 圧力範囲 1Pa~大気圧
仕様
型式SURFAGUIDE PLASMA SOURCE
用途薄膜形成、ラジカル/反応種の生成、有害物質分解ガス化、殺菌、粉末の合成
動作周波数2450MHz
入力電力範囲230W~6kW
圧力範囲1Pa~大気圧
使用ガスAr、N2、O2、air
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管/アルミナ管  Φ10mm、Φ15mm、Φ20mm
接栓WR340導波管


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