大 中 小 文字サイズ
| ログイン|English

HOME > ハードウェア >  マイクロ波プラズマ > プラズマ源 > トーチ型マイクロ波プラズマ源 S-WAVE

マイクロ波プラズマ

プラズマ源

トーチ型マイクロ波プラズマ源 S-WAVE

S-WAVE 6, S-WAVE 8

PDF(546KB) S-WAVE

トーチ型マイクロ波プラズマ源S-WAVEは、1Paから大気圧の範囲で動作する工業用及び研究用に設計されたコンパクトなプラズマ源です。
プラズマはプラズマ源内の放電管内にて生成され、電気導体として振る舞います。直径6mmまたは8mmの放電管を使用して、反応種、励起種を効率的に生成します。

特長
  • 2つのチューナーを調整することで、最適なインピーダンスに合わせることが可能。
  • 所定の放電条件を設定することで、始動時に再調整することなくプラズマを再現。
  • オプションの誘電バリア放電着火システムの取り付けによって、大気圧下でも容易に放電を開始。
仕様
型式S-WAVE 6, S-WAVE 8
用途表面活性化、元素分析、原子層堆積、ガス除去、ラジカル/反応種の生成、滅菌/消毒、細菌不活性化、付着細菌の低減、慢性創傷と感染皮膚の治療
使用周波数範囲2450MHz±50MHz
最大入力電力200W
使用圧力1Pa~大気圧
使用ガス大気圧:ArとArベース混合ガス
減圧:全てのガス対応
プラズマ噴出口石英管 Φ6mm、Φ8mm
接栓N型コネクタ(Female)
冷却用コネクタ水冷:Φ6mmホース用クイックコネクタ
空冷:Φ6mm管用クイックコネクタ
ガス用コネクタスウェージロック 6mmコネクタ
着火(オプション)誘電バリア放電着火システム
S-WAVEとソリッドステート電源の接続図

S-WAVE

同軸ケーブル
N型

ソリッドステート電源
GMS200W


このサイトの記載内容の著作権は株式会社エーイーティーまたは情報提供者に帰属しています。記事や写真等のコンテンツ、データなどは、私的利用の範囲内で使用し、無断転載、無断コピーなどはおやめください。私的利用の範囲を超えるご使用の場合は、当社の承諾が必要な場合があります。

〒215-0033 神奈川県川崎市麻生区栗木2-7-6
TEL:044-980-0505(代表) FAX:044-980-1515
総合お問合わせ:info@aetjapan.com URL:http://www.aetjapan.com