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マイクロ波プラズマ

プラズマ源

キャビティ型マイクロ波プラズマ源7/16 同軸コネクタ接続仕様

PDF(615KB) 大気圧小型マイクロ波プラズマ源

APLC024-359(プラズマ噴出口Φ10mm)

特長
  • キャビティ(共振器)型プラズマ源
  • 圧力範囲 300Pa~大気圧
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
仕様
型式APLC024-359
用途薄膜形成、エッチング、分光解析、殺菌処理、親水処理
動作周波数2450MHz
入力電力範囲100W~300W
圧力範囲300Pa~大気圧
使用ガスAr,N2,O2
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管 Φ10mm
接栓7/16型コネクタ(Female)
キャビティ型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート/マグネトロン電源の接続図

APLC024-359

同軸ケーブル
7/16

同軸型スタブチューナー
7/16

同軸ケーブル
7/16-Nアダプタ

ソリッドステート電源
GMS200W
GMS450W


同軸導波管変換器
7/16-WR340

マグネトロン電源
GMP20K

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