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マイクロ波プラズマ

プラズマ源

キャビティ型マイクロ波プラズマ源 WR430 導波管接続仕様

PDF(615KB) 大気圧小型マイクロ波プラズマ源

APLC024-015(プラズマ噴出口Φ20mm)
APLC024-141(プラズマ噴出口Φ10mm)

特長
  • キャビティ(共振器)型のプラズマ源
  • 圧力範囲 300Pa~大気圧
仕様
型式APLC024-015、APLC024-141
用途薄膜形成, エッチング, 分光解析, 殺菌処理, 親水処理
動作周波数2450MHz
入力電力範囲300W~1kW
圧力範囲300Pa~大気圧
使用ガスAr、N2、O2、SF6
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管 / アルミナ管
APLC024-015(Φ20mm)、APLC024-141(Φ10mm)
接栓WR430導波管 (WR340 への変更可能)
キャビティ型マイクロ波プラズマ源とマグネトロン電源の接続図
APLC024-015
APLC024-141

導波管
WR340

導波管型スタブチューナー
WR340


導波管
WR340

マグネトロン電源
GMP20K

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