プラズマ源

キャビティ型マイクロ波プラズマ源 WR430 導波管接続仕様

プラズマ源TOP
APLC024-015(プラズマ噴出口Φ20mm)
APLC024-141(プラズマ噴出口Φ10mm)

特 長

  • キャビティ(共振器)型のプラズマ源
  • 圧力範囲 300Pa~大気圧

仕 様

型式APLC024-015、APLC024-141
用途薄膜形成, エッチング, 分光解析, 殺菌処理, 親水処理
動作周波数2450MHz
入力電力範囲300W~1kW
圧力範囲300Pa~大気圧
使用ガスAr
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管 / アルミナ管
APLC024-015(Φ20mm)、APLC024-141(Φ10mm)
接栓WR430導波管 (WR340 への変更可能)

キャビティ型マイクロ波プラズマ源とマグネトロン電源の接続図

APLC024-015
APLC024-141

導波管
WR430/WR340

導波管型スタブチューナー
WR340

導波管
WR340

マグネトロン電源

キャビティ型マイクロ波プラズマ源7/16 同軸コネクタ接続仕様

プラズマ源TOP
APLC024-359(プラズマ噴出口Φ10mm)

特 長

  • キャビティ(共振器)型プラズマ源
  • 圧力範囲 300Pa~大気圧
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易

仕 様

型式APLC024-359
用途薄膜形成、エッチング、分光解析、殺菌処理、親水処理
動作周波数2450MHz
入力電力範囲100W~300W
圧力範囲300Pa~大気圧
使用ガスAr
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管 Φ10mm
接栓7/16型コネクタ(Female)

キャビティ型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート/マグネトロン電源の接続図

ペン型マイクロ波プラズマ源

プラズマ源TOP
APLP024-005(プラズマ噴出口Φ2mm)

特 長

  • 石英管内径サイズが2mmで局所的な処理に有効
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易で非常に使いやすく、簡易的な実験に最適なプラズマ源

仕 様

型式APLP024-005
用途表面改質、殺菌
動作周波数2450MHz
入力電力範囲50W~100W
圧力範囲大気圧
使用ガスAr、N2
冷却方式自然空冷式
プラズマ噴出口石英管Φ2mm
形状Φ22 x L55mm
接栓N型コネクタ(Female)

ペン型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図


APLP024-005

同軸ケーブル
N型

同軸型スタブチューナー
N型

同軸ケーブル
N型


ソリッドステート電源
GMS200W

リエントラント型マイクロ波プラズマ源

プラズマ源TOP
APLC024-348(プラズマ噴出口Φ7mm)

特 長

  • リエントラント(空洞共振器)型プラズマ源
  • 低電力でのプラズマが可能
  • 小型で真空チャンバーに取り付けが容易
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
  • 圧力範囲 1Pa~大気圧

仕 様

型式APLC024-348
用途薄膜形成、エッチング、分光解析
動作周波数2450MHz
入力電力範囲50W~100W
圧力範囲1Pa~大気圧
使用ガスAr
冷却方式自然空冷式
プラズマ噴出口石英管Φ7mm
接栓N型コネクタ(Female)

リエントラント型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図


APLC024-348

同軸ケーブル
N型

同軸型スタブチューナー
N型

同軸ケーブル
N型


ソリッドステート電源
200W