プラズマ源
リエントラント型マイクロ波プラズマ源
プラズマ源TOP APLC024-348（プラズマ噴出口Φ7mm）特 長
- リエントラント（空洞共振器）型プラズマ源
- 低電力でのプラズマが可能
- 小型で真空チャンバーに取り付けが容易
- 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
- 圧力範囲 1Pa～大気圧
仕 様
| 型式 | APLC024-348 |
|---|---|
| 用途 | 薄膜形成、エッチング、分光解析 |
| 動作周波数 | 2450MHz |
| 入力電力範囲 | 50W～100W |
| 圧力範囲 | 1Pa～大気圧 |
| 使用ガス | Ar |
| 冷却方式 | 自然空冷式 |
| プラズマ噴出口 | 石英管Φ7mm |
| 接栓 | N型コネクタ（Female） |
リエントラント型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図
 APLC024-348 |
同軸ケーブル N型 |
同軸型スタブチューナー
N型 |
同軸ケーブル N型 |
ソリッドステート電源
200W 
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