プラズマ解析サービス
VSimによる電位とイオン分布の解析
プラズマ発生装置の複雑な振る舞いに関して最先端のプラズマ解析ソフトウェアによるシミュレーションを提供します。
適用対象
- 容量性結合プラズマ(CCP)
- ヘリコンスラスタ
- 高密度プラズマフォーカス
- 磁気ノズル
- 誘電体バリア放電(DBD)
- レーザー励起プラズマ
- プラズマジェット
- EUVリソグラフィー
- マグネトロンスパッタ
- レーザープラズマ加速器
- Zピンチ
使用ソフトウェア
VSim(プラズマ解析ソフトウェア)
USim(流体プラズマ解析ソフトウェア)
LSP(プラズマ シミュレーションソフトウェア)
PrismSPECT(プラズマ分光解析)
CST MW STUDIO(高周波電磁界解析)