RF MEMS and Their Applications

従来の RF 回路に MEMS を組み込むと、性能が向上し、しかもより低い製造コストのシステムが実現します。マイクロ波やミリ波システムに MEMS 製造技術を応用すれば、 MEMS アクチュエータ / アンテナ / スイッチ / トランスミッションライン付きの IC にも実行可能です。そのようにして作られたシステムでは、帯域幅が広がり、より高い放射効率で動作するようになり、ワイヤレスパーソナル通信装置に応用できます。

本書は MEMS の重要な部分をカバーし、 RF と MEMS の研究開発に必要な情報について強調して書かれています

Preface.

Microelectromechanical Systems (MEMS) and Radio Frequency MEMS.
MEMS Materials and Fabrication Techniques.
RF MEMS Switches and Micro Relays.
MEMS Inductors and Capacitors.
Micromachined RF Filters.
Micromachined Phase Shifters.
Micromachined Transmission Lines and Components.
Micromachined Antennae.
Integration and Packaging for RF MEMS Devices.

Index.