マイクロ波プラズマ源
トーチ型マイクロ波プラズマ源 S-WAVE
S-WAVE 6, S-WAVE 8 S-WAVE(PDF)
トーチ型マイクロ波プラズマ源S-WAVEは、1Paから大気圧の範囲で動作する工業用及び研究用に設計されたコンパクトなプラズマ源です。
プラズマはプラズマ源内の放電管内にて生成され、電気導体として振る舞います。直径6mmまたは8mmの放電管を使用して、反応種、励起種を効率的に生成します。
特 長
- 2つのチューナーを調整することで、最適なインピーダンスに合わせることが可能。
- 所定の放電条件を設定することで、始動時に再調整することなくプラズマを再現。
- オプションの誘電バリア放電着火システムの取り付けによって、大気圧下でも容易に放電を開始。
仕 様
| 型式 | S-WAVE 6, S-WAVE 8 |
|---|---|
| 用途 | 表面活性化、元素分析、原子層堆積、ガス除去、ラジカル/反応種の生成、滅菌/消毒、細菌不活性化、付着細菌の低減、慢性創傷と感染皮膚の治療 |
| 使用周波数範囲 | 2450MHz±50MHz |
| 最大入力電力 | 200W |
| 使用圧力 | 1Pa～大気圧 |
| 使用ガス | 大気圧：ArとArベース混合ガス 減圧：全てのガス対応 |
| プラズマ噴出口 | 石英管 Φ6mm、Φ8mm |
| 接栓 | N型コネクタ（Female) |
| 冷却用コネクタ | 水冷：Φ6mmホース用クイックコネクタ |
| 空冷：Φ6mm管用クイックコネクタ | |
| ガス用コネクタ | スウェージロック 6mmコネクタ |
| 着火（オプション） | 誘電バリア放電着火システム |
S-WAVEとソリッドステート電源の接続図
 S-WAVE |
同軸ケーブル N型 |
ソリッドステート電源
GMS200W 
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