プラズマ源

ペン型マイクロ波プラズマ源

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APLP024-005(プラズマ噴出口Φ2mm)

特 長

  • 石英管内径サイズが2mmで局所的な処理に有効
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易で非常に使いやすく、簡易的な実験に最適なプラズマ源

仕 様

型式APLP024-005
用途表面改質、殺菌
動作周波数2450MHz
入力電力範囲80W~100W
圧力範囲大気圧
使用ガスAr、N2
冷却方式自然空冷式
プラズマ噴出口石英管Φ2mm
形状Φ22 x L55mm
接栓N型コネクタ(Female)

ペン型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図


APLP024-005

同軸ケーブル
N型

同軸型スタブチューナー
N型

同軸ケーブル
N型


ソリッドステート電源
GMS200W