プラズマ源

リエントラント型マイクロ波プラズマ源

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APLC024-348(プラズマ噴出口Φ7mm)

特 長

  • リエントラント(空洞共振器)型プラズマ源
  • 低電力でのプラズマが可能
  • 小型で真空チャンバーに取り付けが容易
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易
  • 圧力範囲 1Pa~大気圧

仕 様

型式APLC024-348
用途薄膜形成、エッチング、分光解析
動作周波数2450MHz
入力電力範囲50W~100W
圧力範囲1Pa~大気圧
使用ガスAr、N2
冷却方式自然空冷式
プラズマ噴出口石英管Φ7mm
接栓N型コネクタ(Female)

リエントラント型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート電源の接続図


APLP024-348

同軸ケーブル
N型

同軸型スタブチューナー
N型

同軸ケーブル
N型


ソリッドステート電源
GMS200W