マイクロ波電源
2450MHz，3kW／6kW／10kW マイクロ波ヘッド分離型電源
（スイッチモード方式）
GMP G4 30K，GMP G4 60K，GMP G4 100Kは、産業用途とプラズマ生成向けに設計されており、 100%デジタルアーキテクチャによりスマートな電源制御を備えた信頼性の高いマイクロ波発生器です。！
スイッチング素子により商用周波数から高周波 (数十kHz) に変換後、高周波トランスにて昇圧し、整流、平滑することでマグネトロン陽極に印加する高電圧を得る方式。
利点として高効率・小形・軽量であること、陽極電流の低リップ化が容易であること、精度の高い出力設定ができることなどがあげられる
自動再起動機能 (ARF) や予防アラーム管理 (PAM、生産を停止せずにアラームを送信) などの複数の機能が実装されており、微小な停電の場合でもプロセスの最後まで進めることができます。
特 長
- コンパクトな 2 モジュール設計
- ラックマウント型の電源部とマイクロ波発生用の発振部(マイクロ波ヘッド)にて構成
- 高信頼性
-
- 5msec未満の自動再起動機能 (ARF) による生産停止や損失回避
- 動作監視：出力電力，反射電力，水温，流量，湿度，温度，高電圧等の35パラメータによる監視
- マグネトロンの予測寿命は 15000 時間以上 (動作条件による)
- アーク検出機能搭載、1 つのアーク入力はお客様のアプリケーター/プロセスに使用可
- 生産の継続を可能にする予防警報管理 (PAM)
- 100% デジタル設計による、電気ネットワークの干渉や歪みからの適切な保護
用 途
- プラズマ応用 ：
表面波プラズマ源によるプラズマ生成，薄膜堆積，ガス削減(温室効果ガスなど)，CO2変換，合成ガスの製造，CVD(化学気相成長)，CVD法によるダイヤモンド生成，窒化処理など - 研究・産業用途：
化学応用，生物化学，乾燥，加熱，焼結，熔解など
仕 様
| 電源部 |  |
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|---|---|---|---|
| 発振部 |  |
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| 形式 | GMP G4 30K (1)T(2)(3)(4) | GMP G4 60K (1)T(2)(3)(4) | GMP G4 100K (1)T(2)(3)(4) |
| 周波数範囲 | 2450MHz ± 25MHz | ||
| 出力電力範囲 | 3kW （5∼100％，10W Step) | 6kW （10∼100％，10W Step) | 10kW （10∼100％，10W Step) |
| 出力安定度 | 1% @10∼100% | ||
| 出力リップル | < 2％ RMS @10∼100% | ||
| 動作モード(1) | 連続波 (SM) または パルス (IP)*1 自動再起動 (5msec未満) |
||
| 出力立上り/立下り | < 100uS / 100uS (10∼90%)*2 | ||
| 監視パラメータ | 出力，反射電力，温度等 35点測定 | ||
| 導波管出力 | WR340 | ||
| 供給電源(2) | 3Φ,400V ± 10％(400) または 3Φ,208V ± 10％(208) または 3Φ,480V ± 10％(480) 4500VA (力率 > 0.9) |
3Φ,400V ± 10％(400) または 3Φ,208V ± 10％(208) または 3Φ,480V ± 10％(480) 8800VA (力率 > 0.9) |
3Φ,400V ± 10％(400) または 3Φ,480V ± 10％(480) 15800VA (力率 > 0.9) |
| ディスプレイ(3) | タッチスクリーン 有(F) または 無(X) | ||
| 制御インターフェース(4) | ローカルインターフェース*3 リモートインターフェース(4) EtherNet/IP に加え、 アナログ(ST) または Modbus on RS232(MS) または Modbus RS485(MM) または Profibus®(PR) または CanOpen(CA) |
ローカルインターフェース*3 リモートインターフェース(4) Modbus Ethernet & EtherNet/IP に加え、 アナログ(ST) または Modbus on RS232(MS) または Modbus RS485(MM) または Profibus®(PR) または CanOpen(CA) |
|
| 外形寸法 (WxDxH) |
電源 483x701x132.5mm ヘッド 217x352x231mm |
電源 483x701x132.5mm ヘッド 357x401x249mm |
電源 483x752x177mm ヘッド 357x436x279mm |
| 重量 | 電源 22.5kg ヘッド 17kg |
電源 23.2kg ヘッド 20.5kg |
電源 30.4kg ヘッド 23.6kg |
| 冷却方式 | 空冷・水冷併用 水冷 (4L/min,@2.2bar,18∼23℃) |
空冷・水冷併用 水冷 (5L/min,@2.5bar,18∼23℃) |
空冷・水冷併用 水冷 (7L/min,@4bar,18∼23℃) |
| 動作環境 | 温度 < 45℃，湿度 < 60% | 温度 < 40℃，湿度 < 60% | |
| カタログ | GMP G4 30K (PDF) | GMP G4 60K (PDF) | GMP G4 100K (PDF) |
*1 SM：連続波出力／IP (INTERNAL PULS Version)：連続波出力とパルス出力が可能
*2 IP製品出力パルス性能
*3 7インチ カラーTFTタッチ スクリーン(オプション)により、簡単かつ効率的な制御と設定が可能
※ 電源－マイクロ波ヘッド接続ケーブル：標準 5m ，オプション 2.5m／10m／15m／20m，
電源ケーブル：3m
※仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。
*2 IP製品出力パルス性能
*3 7インチ カラーTFTタッチ スクリーン(オプション)により、簡単かつ効率的な制御と設定が可能
※ 電源－マイクロ波ヘッド接続ケーブル：標準 5m ，オプション 2.5m／10m／15m／20m，
電源ケーブル：3m
※仕様詳細、外形図、特徴、用途等につきましては添付カタログをご覧下さい。
