プラズマ源

キャビティ型マイクロ波プラズマ源7/16 同軸コネクタ接続仕様

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APLC024-359(プラズマ噴出口Φ10mm)

特 長

  • キャビティ(共振器)型プラズマ源
  • 圧力範囲 300Pa~大気圧
  • 同軸ケーブルで電力を供給するため取り回しが容易

仕 様

型式APLC024-359
用途薄膜形成、エッチング、分光解析、殺菌処理、親水処理
動作周波数2450MHz
入力電力範囲100W~300W
圧力範囲300Pa~大気圧
使用ガスAr
冷却方式水冷式
プラズマ噴出口石英管 Φ10mm
接栓7/16型コネクタ(Female)

キャビティ型マイクロ波プラズマ源とソリッドステート/マグネトロン電源の接続図