マイクロ波プラズマ源

キャビティ型マイクロ波プラズマ源 WR430 導波管接続仕様

APLC024-015（プラズマ噴出口Φ20mm）
APLC024-141（プラズマ噴出口Φ10mm）

特　長

仕　様

型式	APLC024-015、APLC024-141
用途	薄膜形成, エッチング, 分光解析, 殺菌処理, 親水処理
動作周波数	2450MHz
入力電力範囲	300W～1kW
圧力範囲	300Pa～大気圧
使用ガス	Ar
冷却方式	水冷式
プラズマ噴出口	石英管 APLC024-015(Φ20mm)、APLC024-141(Φ10mm)
接栓	WR430導波管 (WR340 への変更可能)

キャビティ型マイクロ波プラズマ源とマグネトロン電源の接続図