プラズマ源
キャビティ型マイクロ波プラズマ源 WR430 導波管接続仕様
プラズマ源TOP APLC024-015（プラズマ噴出口Φ20mm）APLC024-141（プラズマ噴出口Φ10mm）
特 長
- キャビティ（共振器）型のプラズマ源
- 圧力範囲 300Pa～大気圧
仕 様
| 型式 | APLC024-015、APLC024-141 |
|---|---|
| 用途 | 薄膜形成, エッチング, 分光解析, 殺菌処理, 親水処理 |
| 動作周波数 | 2450MHz |
| 入力電力範囲 | 300W～1kW |
| 圧力範囲 | 300Pa～大気圧 |
| 使用ガス | Ar |
| 冷却方式 | 水冷式 |
| プラズマ噴出口 | 石英管 / アルミナ管 APLC024-015(Φ20mm)、APLC024-141(Φ10mm) |
| 接栓 | WR430導波管 (WR340 への変更可能) |
キャビティ型マイクロ波プラズマ源とマグネトロン電源の接続図
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APLC024-015
APLC024-141 
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導波管 WR430/WR340 |
導波管型スタブチューナー
WR340  |
導波管 WR340 |
マグネトロン電源
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