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VSimによる電位とイオン分布の解析

プラズマ発生装置の複雑な振る舞いに関して最先端のプラズマ解析ソフトウェアによるシミュレーションを提供します。

容量性結合プラズマ（CCP）

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PrismSPECT（プラズマ分光解析）

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CST MW STUDIO（高周波電磁界解析）

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