プラズマ解析サービス
適用対象
- 容量性結合プラズマ（CCP）
- ヘリコンスラスタ
- 高密度プラズマフォーカス
- 磁気ノズル
- 誘電体バリア放電（DBD）
- レーザー励起プラズマ
- プラズマジェット
- EUVリソグラフィー
- マグネトロンスパッタ
- レーザープラズマ加速器
- Zピンチ
使用ソフトウェア
VSim（プラズマ解析ソフトウェア）
USim（流体プラズマ解析ソフトウェア）
LSP（プラズマ シミュレーションソフトウェア）
PrismSPECT（プラズマ分光解析）
CST MW STUDIO（高周波電磁界解析）