高周波測定サービス
- 4ポートベクトルネットワークアナライザによるミックスモード・差動Sパラメータ測定（～67GHz）
- コプレーナプローブによる測定、TEGの作成と測定。
- スペクトラムアナライザによる測定（～90GHz）
- Sパラメータからインダクタンス、キャパシタンスの算出。
- SOLT, TRLM校正に基づくキャリブレーションモジュール、テストフィクスチャの作成
主要計測器
| 4ポートネットワークアナライザ | Keysight | N5227A | 67GHz |
| ネットワークアナライザ | Keysight | E8364B | 50GHz |
| インピーダンスアナライザ | Keysight | E4991A | |
| ミリ波スペアナシステム | Keysight | N9030A+M1970V | 3Hz～80GHz |
| ミリ波信号発生システム | Keysight | E8257D+E8257DS12 | 250KHz～20GHz、60GHz～90GHz |
インピーダンス測定例
AET社製プローブステーション
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カスケード・マイクロテック社製プローブ
プローブステーションにエアコプレーナ・プローブを装備し、マイクロストリップラインのインピーダンスを測定しました。
測定機器
- 機器：プローブステーション（AET社製AGPS501) 製品詳細ページへ
- 測定対象：マイクロストリップライン 長さ30mm
- FR-4基板、 厚み0.2mm
- 測定周波数：300MHz
- 校正：キャリブレーションキット
- 測定プローブ：エアコプレーナ GSG(カスケード・マイクロテック社製）
- インピーダンスアナライザ：E4991A(キーサイト・テクノロジー社製）
校正
キャリブレーションキットを用いてopen/short校正を行い、プローブヘッドの針先端を測定の基準面とします。
インダクタンスの算出例
(例1)
測定例：Zo=R＋jX(Ω）300MHzの時 Zo=0.223＋j18.2899(Ω） Z(im)=jωL
インダクタンス L=18.2899÷(2×π×300e＋6) =9.71nH
(例2)
測定例：Zo=G＋jX(Ω）300MHzの時 Zo ≒ 0.00021−j150(Ω） Z(im)=1⁄jωC
キャパシタンス C=1÷(150×2×π×300e＋6)=3.53pF
応用
- スパイラルインダクタのインピ－ダンス測定
- PCB 内蔵キャパシタ薄膜誘電体
- RFIDアンテナ
- ICパッケージ、メモリの浮遊容量測定
- ディスク、磁気ヘッド など
システム構築
インピーダンス測定サービスだけでなく、お客様のご要望にあったインピーダンス測定用システムの構築も行っています。
システム構成
- プローブステーション(AET社製）
- インピーダンスアナライザ（キーサイト・テクノロジー社製）
- 各種プローブ（カスケード・マイクロテック社製）
- キャリブレーションキット（AET社製、カスケード・マイクロテック社製）