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電子銃・イオン源

電子銃

ヒートウェーブ社(HeatWave Labs, Inc. )の電子銃は、主に含浸型タングステンを用いたカソードを使用して、電流密度が非常に高くエミッタンスの低い、良質の電子ビームを発生させます。電子源として使用されるほか、電子ビームリソグラフィーや加速器にも利用されています。

特長
■高電圧■マイクロアンペアからキロアンペア
■グリッドエレメントと集束エレメント■コンフラットもしくは、溶接フランジ
■ビーム光学モデリング可能
※HeatWave Labs, Inc. http://www.cathode.com
ヒートウェーブ社(米国)は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです

HWEG-1255型電子銃

サイズ3-3⁄8インチ
グリッドカソード間隔160ミクロン
放出 標準*Ec=100Vの場合、12A、0.002デューティ
最大グリッド電源1.5W
標準⁄最大グリッド電圧100/150
最大グリッドアンプ50mADC
グリッドスクリーニング率33%
相互コンダクタンス*100~180mmhos
カソードエリア2.0cm2
カソードヒーター電圧6.0/7.5
カソードヒーター電流 標準6.0Vの場合 5.2A
カソードタイプディスペンサ
カソード寿命**8Ampsの場合…10,000時間
1Ampの場合…100,000時間

* 実際の値は、陽極とシステム構成によって異なります。
**カソードの寿命は最適条件下での理論上の寿命です。

HWEG-1228型電子銃

カソード電圧20kV
グリッドカットオフ約-300V
グリッドドライブ20kVの場合5.7Aには±235V
グリッド電流Beam Ampsの6%
グリッド電源損失最大3.0W
ヒーター電圧6.3V
ヒーター電流5.6A
パービアンス2.0μpervs.
パルス幅最大100μsec.
デューティーサイクル最大0.04
ビ-ム電流5.7A

HWEG-1280型電子銃

最大使用電圧10kV
最大ビーム電流30mA
スポットサイズ(20mmWD)30mAの場合0.5縲乗D1.0mm 1mAの場合0.1mm
焦点 静電
グリッド電圧
(改良ピアス電極)
ビームを遮断するためのカソードには最大-1000V
エミッタタイプ電子衝撃による加熱タングステン2kの場合7mA、
4Vの場合フィラメント約1.4A、調整放出
電磁界入れ替え可能
エミッタ寿命2000時間以上
真空条件1×10縲乗D6Torrもしくはそれ以上
電気貫通Ceramaseal P/N 807B12867-05-CF
フランジ直径2.75インチCFF

102353型電子銃

  • 90%透過性グリッド付き平面カソード(直径0.5インチ)
  • 2 3/4インチCFFフランジ付き
  • グリッド・カソード間隔160ミクロン
  • 2本のピンフィードスルーにより、カソードとヒーター、またはヒーターとヒーターを接続
  • カソードの直径サイズおよびグリッドの透過性は、選択が可能

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