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ホローカソードプラズマ源

ヒート ウェーブ社(HeatWave Labs, Inc.)の高電流ホローカソードプラズマ源は、制御された電子電流を正確にプラズマ環境に流すことができます。簡単スタート(高圧ではない)、安定した出力、連続した可変放出電流、低ガスフロー条件、低動作温度、長寿命などの特徴を持ち、いかなるメタル汚染物質にも出力します。

※HeatWave Labs, Inc. http://www.cathode.com
ヒートウェーブ社(米国)は、電子銃、カソード、イオン源、ヒーターなどの製造メーカーです。

HWPES-250 ホローカソードプラズマ源

  • イオンビーム中和
  • 表面電荷制御
  • 電子フィラメント交換
  • マグネトロン放電とダイオード放電で電子を増強
  • アーク放電発生器
 
プラズマ電流0~10A(持続) 連続的可変
イオン電流0.5~1mA
動作ガス希ガスと水素ガス
電子エネルギー1.0eV以下は結合電圧で増量
動作ガスフロー2~5A/Sccm(Ar) 3~7A/Sccm(Xe)
最小バックグラウンドPUHV
最大バックグラウンドPmTorr
寿命不活性ガスのバックグラウンドで1000時間以上
反応性ガスの影響寿命の低下、バックグラウンド圧力の低下
取付けオプションUHV、2.75CF  HV、KF40
構造溶接メタリック
電源90~250VAC(自動選択)50/60Hz、単相

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