VSim プラズマ解析ソフトウェア

VSim LOGO

VSimは、粒子間の衝突を考慮して動的にプラズマを解析するソフトウェアです。

プラズマプロセス装置のシース形成や非マクスウェル粒子分布の発展、イオン源からのイオンビーム発生、プラズマ環境におかれたに装置の帯電など様々なプラズマをシミュレーションすることができます。

capacitivelycoupledplasma
容量性結合形プラズマ
マグネトロンスパッタ
マグネトロンスパッタ
nature VORPALを使って米国ローレンス・リバモア国立研究所で行われたプラズマ加速の解析結果は、実測値と良く合い、'Dream Beam : The dawn of compact particle accelerators.'と題して2004年9月のNature誌の表紙を飾りました。

特長

  • 3次元、2次元、1次元解析
  • 時間領域有限差分法(Finite Difference Time Domain: FDTD)による電磁界解析
  • 静電界解析のためのPoissonソルバー(直接法、反復法)
  • Particle-in-Cell(PIC)アルゴリズムによる荷電粒子運動解析
  • 粒子衝突過程の考慮
    PIC-Monte Carlo(PIC-MCC)法
    PIC-Direct Simulation Monte Carlo(PIC-DSMC)法
    様々な反応モデル(VSimPDが必要)
  • スパッタや二次電子などを含む豊富な表面粒子放出モデル
  • 粒子の可変重み
  • 表面帯電
  • 周期的境界条件
  • CADインポート(STEP、STL、POLY、VTK)
  • VSimComposerによるシミュレーションの設定、実行、結果表示
  • マルチプラットフォーム
  • 超並列計算をサポート
ParticleReaction
直感的・視覚的なVisual setupによる設定画面
ParticleReaction
直接的なファイル入力ができるText setupによる設定画面

構成

VSimSuite
<b>VSimPD</b><br/>プラズマ放電シミュレーション用パッケージ
VSimPD
プラズマ放電シミュレーション用パッケージ
<b>VSimPA</b><br/>プラズマ加速シミュレーション用パッケージ
VSimPA
プラズマ加速シミュレーション用パッケージ
<b>VSimMD</b><br/>マイクロ波管最適化用パッケージ
VSimMD
マイクロ波管最適化用パッケージ
<b>VSimEM</b><br/>電磁気を応用した装置のためのシミュレーションパッケージ
VSimEM
電磁気を応用した装置のためのシミュレーションパッケージ
<b>VSimBase</b><br/>基本的なプラズマ・荷電粒子運動・電磁界解析ができるパッケージ
VSimBase
基本的なプラズマ・荷電粒子運動・電磁界解析ができるパッケージ
<b>VSimPD</b><br/>プラズマ放電シミュレーション用パッケージ
<b>VSimPA</b><br/>プラズマ加速シミュレーション用パッケージ
<b>VSimMD</b><br/>マイクロ波管最適化用パッケージ
<b>VSimEM</b><br/>電磁気を応用した装置のためのシミュレーションパッケージ
<b>VSimBase</b><br/>基本的なプラズマ・荷電粒子運動・電磁界解析ができるパッケージ

アプリケーション

  • 容量性結合形プラズマ(CCP)
  • DC・RFスパッタ
  • イオン源
  • レーザープラズマ加速器
  • マイクロ波加速器
  • マグネトロン
  • クライストロン
  • コレクター
  • ホーンアンテナ
  • 誘電体バリア放電(DBD)
  • ラングミュアプローブ
  • イオンスラスタ
  • プラズマ航跡場加速器
  • 電子銃
  • ジャイロトロン
  • 進行波管(TWT)
  • フォトニック結晶
  • パッチアンテナ

シミュレーション例

動作環境

【ハードウェア】
RAM:HelixTWTのようなマイクロ波管の事例では12GB以上を推奨
ハードディスク空き容量
Windows:1.2GB以上
Linux:2.7GB以上
【OS】
・64-bit Windows 7, 8, 10, Server 2008 R2, Server 2012
・64-bitLinux(glibc 2.11.3以降)
・Mac OS X(10.10 - 10.14)
・Cray XC30
発売元 : Tech-X Corporation http://www.txcorp.com/