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同軸共振器法による誘電率測定装置

-高周波のノウハウを最大限に活用した新発想の測定装置 -

あらゆる形状のサンプルを簡単測定

ネットワークアナライザを使用したタイプ

ネットワークアナライザ代替の
専用回路を使用したタイプ

本測定装置は、東京大学大学院総合文化研究科 前田研究室との産学協同開発として、川崎市より認定された事業の成果です。(特許番号3691812)
本測定システムの測定原理に関する論文がIEEE Microwave Theory And Techniques論文誌に発表されました。

R. Inoue, et al., "Data Analysis of the Extraction of Dielectric Properties
From Insulating Substrates Utilizing the Evanescent Perturbation Method",
IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 54,no. 2, pp. 522-532, Feb. 2006.

特長
■ エバネッセント波を用いた開放型同軸共振器による測定
共振器上部に小径の開口部があり、そこからはみ出るわずかな近接場(エバネッセント波)が測定サンプルに浸潤し、共振器全体の共振周波数、Q値がサンプルの複素誘電率に応じて変化します。その変化量から誘電率を算出します。
■ 非破壊で簡単な測定作業
開放型共振器であるため、様々な形状のサンプルが測定できます。サンプルを共振器の上に置くだけで短時間に測定できます。
■ 安定した測定
測定設置部に真空吸着機構を設けることで、測定面に常に安定した接触状態を維持できます。
仕様

(暫定値)

測定周波数 0.8~18GHz
共振器の周波数ポイント 1つの共振器につき5点
測定範囲 比誘電率:1~15 tanδ:0.001~0.1
測定精度 比誘電率:±1% tanδ:±5%
サンプル形状 平滑な面があれば形状は任意。
(但し、平坦面積10mm×10mm以上、厚み0.5mm以上必要。)

装置の概要について

サンプルの測定について

装置のオプションについて


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