RF MEMS: Theory, Design, and Technology

RF MEMS を使用したスイッチ、バラクタ、移相器などのデバイスの電力消費や損失は、ほとんどゼロです。そのため、世界中の企業で通信装置に RF MEMS 開発が行われています。本書は、 RF MEMS の基礎を提供し、 RF MEMS を使用した実践的な回路とデバイスの設計方法について詳述しています。様々な実際のアプリケーションが紹介されています。

Preface.

Chapter 1- Introduction: RF MEMS for Microwave Applications.
Chapter 2- Mechanical Modeling of MEMS Devices: Static Analysis.
Chapter 3- Mechanical Modeling of MEMS Devices: Dynamic Analysis.
Chapter 4- Electromagnetic Modeling of MEMS Switches.
Chapter 5- MEMS Switch Library.
Chapter 6-MEMS Switch Fabrication and Packaging.
Chapter 7-MEMS Switch Reliability and Power Handling.
Chapter 8- Design of MEMS Switch Circuits.
Chapter 9-MEMS Phase Shifters.
Chapter 10- Distributed MEMS Phase Shifters and Switches.
Chapter 11- MEMS Varactors and Tunable Oscillators.
Chapter 12- Micro machined Inductors.
Chapter 13- Reconfigurable MEMS Networks, Filters, Antennas, and Subsystem.
Chapter 14- Phase Noise Analysis of MEMS Circuits, Phase Shifters, and Oscillators.
Chapter 15- Future Work in RF MEMS.

Appendix A: Detailed Analysis and Measurements of Intermodulation Distortion and Power Handling in RF MEMS Switches, Varactors, and Tunable Filters.
Appendix B: Mechanical, Electrical, and Thermal Properties of RF MEMS Materials.Index.