CST STUDIO SUITEのマルチフィジックス シミュレーションを活用した、プラズマ発光装置の設計事例をご紹介します。この装置はISM帯の2.45 GHzで動作します。空洞と給電システムについて高周波シミュレーションを行い、設計の電気、磁気、熱、機械それぞれの特性をテストします。

小型マイクロ波プラズマ源のシミュレーション事例です。電界分布を計算し、インピーダンスマッチングとプラズマの均質性の最適化を試みます。